随着热处理技术的发展进步，首推真空气氛炉和真空热处理炉。在目前少品种、大批量生产中，尤其是碳素钢和一般合金结构钢件的光亮淬火、退火、渗碳淬火、碳氮共渗淬火、气体氮碳共渗仍以应用可控气氛为主要手段。所以真空气氛炉热处理仍是先进热处理技术的主要组成部分。
真空气氛炉热处理工艺渗碳。高温渗碳是渗碳技术发展趋势之一。提高渗碳温度可以显著提高生产率和节省能耗。为此研究开发可用于1000℃以上的电辐射管材料是当务之急，低压渗碳技术的开发和完善为实现高温渗碳(1040℃)创造了条件。
钢件的渗碳层深度要求一般都较保守，有时也很盲目。看来有必要研究决定渗碳层深度的力学因素，探讨减少渗层规定的可能性。碳氮共渗。碳氮共渗温度比渗碳低，工件畸变小。在渗层深度为0.6mm以下时的渗速接近于930℃渗碳。钢碳氮共渗时容易出现反常组织，淬火后表面硬度有下降现象，渗层中有较多的残留奥氏体。

如何合理选择工艺，充分发挥碳氮共渗潜力仍是值得探讨的问题。过去曾有人提倡过高浓度碳氮共渗，也曾有过钢件碳氮共渗时表面含碳量在0.6％，具有最好综合力学性能的报道，为此众说纷纭。看来有必要掌握这些规律，对生产工艺的优选有所帮助。过去和现在都有对滚动轴承施行碳氮共渗以提高接触疲劳强度的报道。例如AISI52100(相当于GCr15)钢制的球和滚柱则由过去的淬火、回火改为碳氮共渗、淬火、回火、轴承的破坏寿命提高了2.42倍。
看来，真空气氛炉要充分发挥碳氮共渗工艺的潜力还有许多工作需要做。